硅片的清洗方法(硅片清洗工艺原理及现状)
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发表时间：2022-06-03 11:02
黄冠桂网友提问：
硅片的清洗方法
优质答案：
一、首先往除硅片表面的有机沾污，由于有机物会遮盖部分硅片表面，从而使氧化膜和与之相关的沾污难以往除；
二、然后溶解氧化膜，由于氧化层是“沾污陷阱”，也会引进外延缺陷；最后再往除颗粒、金属等沾污，同时使硅片表面钝化。
以上就是硅片,表面,也会的相关信息资料了，希望能帮到您。
